第三百一十四章 弯道超车 (第1/2页)

东京半导体设备展有很多年历史，今年因为新芯宣布旗下的光刻机业务条线突破了40nm工艺制程，导致这次的东京半导体设备展格外引人注目。
　　
　　新芯这个名字在半导体行业内并不陌生，甚至颇有种大名鼎鼎的味道在内，因为这家企业和它的创始人周新一样，迅速崛起后在业内占据了重要的地位。
　　
　　台积电被它压制的极其难受，ARM的移动芯片架构成为主流新芯功不可没，德州仪器、三星、英特尔这些老牌巨头纷纷下注移动芯片同样是因为新芯。
　　
　　因为新芯的地位和行业口碑，让大家相信新芯确实突破了40nm工艺制程，尤其是友商们，他们更关注另外一件事。
　　
　　“新芯是如何做到的？”在东京半导体展的开幕式上，小松正志低声问他旁边的佐藤博人。
　　
　　小松正志是霓虹EUVA的执行董事，同时也是小松株式会社的会长，小松株式会社是光源制造商。
　　
　　在霓虹产经社的主导下，尼康、佳能、小松株式会社、东芝和三菱等等都是EUVA的成员，EUVA的全称是极紫外光光刻开发协会，极紫外光就是13.5nm波长的光。
　　
　　因此新芯宣布攻克40nm制程后，EUVA的成员们并没有太大的危机感，因为他们一旦攻克了极紫外光，那么从65nm制程一直到5nm都将畅通无阻。
　　
　　甚至站在EUVA，也就是协会的立场和小松株式会社的立场来说，小松正志有点巴不得新芯是真的突破了，也就是说那种可以用在大规模生产上有良品率保障的突破，而别是实验室突破。
　　
　　因为新芯攻克了40nm工艺制程，意味着EUVA会获得更多的资源支持，小松株式会社作为其中唯一的光源制造商，自然也会获得更多的资源扶持。
　　
　　至于新芯在光刻机市场上彻底击败霓虹，小松正志从来没有想过这种可能性，在他看来这是不可能的事情。
　　
　　不过后世ASML能够借助技术优势几乎在短短三年时间内彻底实现逆转，打的尼康和佳能永世不得翻身，这完全不是市场化行为，而是ASML背后的阿美利肯资本主导下的行为。
　　
　　为什么这么说，因为在ASML靠着浸润法率先攻克40nm的工艺制程并获得英特尔的生产验证后，他们召开了光刻未来技术研讨会，会上邀请了10家主要的芯片制造厂商，也就是他们的主要客户。
　　
　　会上，ASML表示他们已经借助浸润法成功攻克了那道门槛，也就是卡住芯片工艺继续发展的门槛，希望大家支持浸润法光刻机作为未来唯一的技术路线，说白了就是只支持ASML。
　　
　　在场10家芯片制造厂商里有6家技术代表你们的浸润法光刻机没问题，但是我们也希望让157nm干式光刻机继续发展作为备份的技术路线，因为这样一旦浸润式光刻机技术路线遇到阻碍，我们还有第二个选项。
　　
　　这是非常合理的要求，站在当时那个视角来看，没人能保证浸润式绝对没有问题，工艺制程的发展能够一马平川，毫无阻碍。
　　
　　结果就是ASML在该会议上痛批这帮芯片制造厂商的技术代表们没有远见，观点的参考价值极其有限。
　　
　　ASML组织了这次技术研讨会，研讨会后却完全没有用会议的讨论结果，在背后资本主导下，尼康和佳能的157nm干式光刻机失去了整个西方资本主导下芯片代工的市场。
　　
　　小松正志和他的小松株式会社也在这过程中消失在行业内，再也没有了任何消息。
　　
　　“大概率是用的浸润法，也就是在镜头和硅片之间加液体，他们光刻机条线的负责人是林本坚博士，他一直坚持浸润法是半导体工艺突破的关键。
　　
　　只是不知道他们是如何绕过浸润法的困难。”佐藤博人说，他是EUVA在御殿场市的研发团队的负责人。
　　
　　在光刻机失利后，佐藤博人同样经历了很长一段时间的失落和沉寂，和小松正志比起来，他最后还是走出来了，甚至换了个研究方向重新活跃在学术界。
　　
　　此时意气风发指点新芯光刻机技术的他们，不会知道这个未来对霓虹的光刻机产业只会更加残酷。
　　
　　尼康和佳能这次连残羹冷炙都吃不到了。
　　
　　“我也好奇，因为新芯最早是买的我们的光刻机技术，他们如果要采用浸润法的话，需要完全重新构建整个物镜光路。
　　
　　这可不是一个小工作。
　　
　　这需要耗费大量的人力物力。”小松正志说。
　　
　　作为光源制造商，他很清楚，尼康的技术关键，要想采用浸润式有太多困难了。
　　
　　最大的困难就是物镜光路的改造，尼康的技术最后一块物镜是曲面的，曲面镜片和浸润式存在天然的不兼容。
　　
　　而ASML的193nm光刻机最后一片镜片是平的，ASML的物镜系统可以无缝对接浸没式系统。
　　
　　佐藤博人说：“我每次在IEEE的光学大会上和林博士聊，他对光刻机领域如何利用光源非常精通。
　　
　　想必在他主导下，加上新芯的人才储备和资源投入，重构整个物镜光路是完全可行的技术路线。”
　　
　　“不，不是因为林，新芯能改造我们的物镜光路，是因为有蔡司的全力支持。”杰夫·怀特说，他是尼康新上任的CEO，不知道什么时候坐到了佐藤和小松正志的旁边。
　　
　　小松正志和佐藤博人都连忙和杰夫·怀特打招呼。
　　
　　简单的寒暄后，杰夫·怀特说：“虽然不想承认，但是新芯在光刻机领域的研发速度远超我们的预计。
　　
　　其中新芯自身从尼康、佳能挖走大量研发人员是原因之一，他们获得了蔡司的全力配合是更重要的原因。
　　
　　对于一套新的光学通路来说，没有蔡司的配合，新芯无论如何也没有办法在短短两年时间做到重构整个物镜光路。”
　　
　　杰夫·怀特很无奈，当年尼康做出把技术卖给新芯的时候他还不是尼康的CEO，后来复盘的时候他想过，如果当时他是新芯的CEO是一定不会把技术卖给新芯的。
　　
　　远在东京的尼康不会知道Newman有多神奇，只有身在硅谷的杰夫·怀特对这一点最有感触，自从Newman迅速崛起后，他成为了杰夫·怀特日常生活中听到最多的名人。
　　
　　三人的闲聊在林本坚上台后戛然而止，大家都想听听新芯的技术路线。
　　
　　

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